，据媒体报道，本月3日，光刻机制造商阿斯麦位于德国柏林的一座工厂发生火灾，大火在当晚被扑灭，没有人员在火灾中受伤，阿斯麦随后也宣布将对火灾的影响进行评估，并对外公布相关的消息。
火灾影响的损坏评估仍在进行中，但阿斯麦方面表示，从目前的情况来看，他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响，因为没有相关的部件在柏林工厂生产。因此，世界各地生产先进工艺的芯片代工企业都在试图引进EUV设备，这使得EUV的供应非常紧张。
虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产，但阿斯麦位于柏林的工厂，生产DUV和EUV光刻机的部分部件，这两类光刻机部分部件的生产，在火灾中都受到了影响。如果有需求，可以通过增加供给来平衡。
柏林工厂受火灾影响仍未恢复的，是EUV光刻机一个零部件的生产区域，恢复计划仍在进行中，他们已决定采取相关的措施，将对EUV光刻机客户，产出计划及服务的潜在影响降到最低。。
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