据台媒报道，英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机，为业界首家这台光刻机型号为High—NA量产型EUV光刻机EXE:5200，是业界最强的光刻机，此刻尚未面世
根据消息显示，台积电此前已经向ASML采购High—NA研发型EUV光刻机EXE: 5000，预计在今年内会跟进下单High—NA量产型EUV光刻机。
此前，英特尔确定自己是ASML的High—NA研发型EUV光刻机EXE: 5000的第一个买家。本轮IPO中，华卓精科计划募集资金35亿元，将用于半导体设备关键元器件R&D及制造，长三角创新与R&D超精密测控产品中心，集成电路设备及元器件产品创新项目，掩模对准器中超精密位移测量与平面光栅测量技术研发四个项目。。
据ASML透露，High—NA研发型EUV光刻机EXE: 5000将在2024年前出货，在手订单已达5台量产型EUV光刻机EXE: 5200将在2024年推出，支持客户的后续量产计划这款光刻机瞄准了2025年后晶圆制造的最新工艺节点，例如2nm工艺
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