中国半导体要想实现进一步甚至跨越式发展,就要不断突破卡颈技术显然是重中之重。
据北京亦庄发布的消息,最近几天,北京经济开发区科瀚龙企业自主研发的晶圆编码器WM—SC800R通过验收这是国内第一个被晶圆厂接受的具有自主知识产权的晶圆ID编码装置晶圆标识编码装置实现了,零突破,突破卡颈链接,在自主可控的道路上迈出关键一步
据介绍,通过Wafer)ID编码设备新产品验收是一个非常漫长的过程。
两年前,科汉龙自主研发的晶圆编码器WM—SC800R在晶圆厂8英寸集成电路晶圆生产线上进行了Wafer)ID软编码测试和试生产检验结果优异,晶圆编码器处理的晶圆(Wafer)ID码完全符合SEMI(国际半导体设备与材料组织)标准的要求,满足用户对软编码粒子数量的要求,完全符合ISO一级环境的要求
经过两年的测试,今年8月,晶圆编码器WM—SC800R终于得到好消息,正式通过验收测试。
科汉龙副总经理王向阳表示,晶圆id编码设备涉及微米级高精度测量,高稳定性激光光源,激光与光路控制科学,半导体材料科学,力学与流体力学科学,数字通信,工业自动化综合管理科学等高精度技术,门槛较高。
WM—SC800R在激光器选型,光路设计,晶圆定位方法,设备结构设计,设备整体控制,软件编程等方面均为自主设计开发,拥有完整的自主知识产权,不易被国外使用,卡颈。
柯汉龙官网显示,公司致力于精密加工,激光加工及自动化技术在半导体微电子行业的应用,主要研发制造三类产品:晶圆激光编码设备,晶圆倒角抛片设备,单片湿法加工设备。
此外,还有中国大陆第一条12英寸芯片生产线,国内唯一的奔驰发动机生产线,国内唯一的IPV6根服务器工程中心。
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